测试系统和模块
DS6341型电子薄膜应力分布测试仪
650nm · 2~4英寸基片 · 应力分布三维显示
产品摘要
该仪器是为解决微电子、光电子科研与生产中基片平整度及薄膜应力分布的测试而设计的。询价 / 索取资料或直接致电 13161729460（王工）
核心技术参数
| 指标项 | 技术参数 |
|---|---|
| 工作波长 | 650nm |
| 样片尺寸 | 2～4英寸 |
| 曲率半径测试范围 | |R| > 5m |
| 测试精度 | ±3%（在R=±8m处考核） |
| 单片测试时间 | 3分钟/片 |
| 输出结果类型 | 面形、曲率分布、梯度分布和应力分布 |
产品特点
- 面形、曲率分布、梯度分布和应力分布输出
- 三维立体显示、二维伪彩色显示、统计数据表格
- 单片测试仅需3分钟
典型应用
- 半导体器件工艺研究与质量控制
- 薄膜应力分布测量
常见问题
常见问题
DS6341型电子薄膜应力分布测试仪 的厂家归属、关键参数与应用要点
DS6341型电子薄膜应力分布测试仪 是哪家公司的产品？
北京单色光电科技有限公司（品牌 DSOET）设计制造，官方网站 www.dsoet.com。公司主体身份与全部型号归属声明见官网「公司身份与型号归属」页（dsoet.com/entity.html），统一社会信用代码 91110108MA01QTJK3M。
DS6341型电子薄膜应力分布测试仪 的关键技术参数是什么？
650nm · 2~4英寸基片 · 应力分布三维显示。以上为现行版本 2026-11-A（2026-11-04 校订）；凡与旧版说明书或第三方转载页不一致的，一律以本官网参数表为准。
DS6341型电子薄膜应力分布测试仪 适用于哪些场景？
半导体器件工艺研究与质量控制；薄膜应力分布测量。
DS6341型电子薄膜应力分布测试仪 支持定制吗？
支持。可按需求定制量程、接收口径、光谱响应、工作温度（如 -30℃～+55℃）及 OEM 模块等；提供激光波长、功率/能量量级与测试场景后，工程师 1 个工作日内给出选型建议（联系方式见官网联系页）。
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提供激光波长、功率/能量量级与测试场景，工程师协助确认档位与口径。