测试系统和模块 产品资料
系列化激光参量测试仪器 · 激光参量测试专家
DSOET · 单色光电
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目录（7 个型号系列）
测试系统和模块CATEGORY · 7 SERIES
激光测距机综合性能测试平台
Φ300mm口径 · 室内自动化综合测试 · 回波模拟
激光测距机综合性能测试平台是激光测距机在研发、生产、交付中对其性能参数在室内自动完成的综合测试仪器。平台包含激光测距机光学性能和电学性能参数测试（激光能量、脉宽、束散角和光斑等部件性能；测距精度、灵敏度、分辨率、光轴平行性和接收视场等整机性能；电控功能、通讯性能、显示功能和功耗等电学性能）。采用大动态范围可调模拟激光光源、精密延时器模拟远程回波激光信号，排除外界环境变化对测试结果的影响，在室内完成相关参数测试。
- 光学、电学性能参数综合自动化测试
- 按测试参数特点自动组合测试系统
- 模拟远程回波激光信号，室内完成测试
- 数据自动采集、分析处理、存档保存
| 有效光学口径 | Φ300mm |
|---|---|
| 光学系统焦距 | 3000mm ± 5% |
| 回波模拟器波长 | 1064nm ± 3nm |
| 回波辐射功率范围 | 1×10⁻⁸W ～ 5×10⁻³W |
| 灵敏度测试分辨率 | 5×10⁻⁸W |
| 回波光束发散角 | ≤10″ |
| 激光能量检测 | 0～500mJ，精度1mJ |
| 束散角检测 | 0.1～3mrad，精度0.05mrad |
| 脉宽检测精度 | 1ns |
| 编码精度检测精度 | 1μs |
| 光轴平行度调校精度 | ≤10″ |
| 仿真测距延时 | 10ns～10μs，精度≤0.1ns |
| 接收视场 | 0～20′，精度±10″ |
典型应用：激光测距机研发/生产/交付综合性能测试；室内自动化验收测试
红外、激光光轴调校装置（三光轴测试仪）
三光轴平行性 · 1μm～15μm · 平行度≤30″ · 便携式
红外、激光光轴调校装置适用于激光测距机激光发射光轴、可见瞄准光轴、红外瞄准光轴平行性测试。提供无穷远红外目标与可见目标，可测试激光远场光斑尺寸，进行光轴平行性测试与红外瞄准线校正，红外目标与可见目标亮度程控可调，目标靶程控切换。
- 提供无穷远红外/可见目标
- 激光远场光斑尺寸测试
- 三光轴平行性测试
- 红外瞄准线校正基准
- 目标亮度程控可调、靶标程控切换
| 模拟目标波长 | 可见、红外1μm～15μm |
|---|---|
| 被测激光波长 | 1064nm、1570nm |
| 平行度检测精度 | ≤30″ |
| 结构 | 便携式 |
典型应用：激光测距机三光轴调校；光电装备光轴平行性检测
DS6431系列半导体激光器测试系统
台式基础型 · 1mW～30W · 0～20A/0～50V · P-I/V-I曲线 · USB
该系统采用一体化设计，能直接准确测量各种输出形式（包括直接输出、准直输出和光纤耦合输出等）的半导体激光器特征参数。可广泛应用于各类激光器的研制、应用和生产领域的综合参量测试，进行输出功率、工作电流、工作电压、阈值电流值、监视电流值、P-I曲线、V-I曲线、Im-P曲线、斜率效率和微分电阻参数测试，所有测试参数自动输入到表中。
- 平均功率/峰值功率测量
- 工作电压、工作电流、阈值电流测量
- 发散角与光谱测量
- P-I、V-I、Im-P曲线与光谱曲线显示
- 测试数据统计分析、存储和回放
| 光谱范围 | 400nm ～ 800nm |
|---|---|
| 接收口径 | Φ20mm |
| 激光功率范围 | 1mW ～ 30W |
| 功率测量精度 | ±3% |
| 电流测量范围 | 0 ～ 20A |
| 电流测量精度 | ±3% |
| 光谱测试分辨率 | 0.5nm |
| 电压测量范围 | 0 ～ 50V |
| 发散角测量范围 | ±60°/±0.2° |
| 驱动输出 | 0～15A / 0～50V |
| 接口方式 | USB |
典型应用：半导体激光器研制与生产的综合参量测试；Bar条/器件/模块筛选
DS6341型电子薄膜应力分布测试仪
650nm · 2~4英寸基片 · 应力分布三维显示
该仪器是为解决微电子、光电子科研与生产中基片平整度及薄膜应力分布的测试而设计的。通过测量每道工序前后基片面形的变化（变形）来测量曲率半径的变化及应力分布，从而计算薄膜应力。广泛应用于半导体器件工艺研究及质量控制，为改善半导体器件可靠性提供测试数据。适用于测量Si、Ge、GaAs等半导体材料的基片平整度，以及氧化硅、氮化硅、铝等具有一定反光性能的薄膜的应力分布。
- 面形、曲率分布、梯度分布和应力分布输出
- 三维立体显示、二维伪彩色显示、统计数据表格
- 单片测试仅需3分钟
| 工作波长 | 650nm |
|---|---|
| 样片尺寸 | 2～4英寸 |
| 曲率半径测试范围 | |R| > 5m |
| 测试精度 | ±3%（在R=±8m处考核） |
| 单片测试时间 | 3分钟/片 |
| 输出结果类型 | 面形、曲率分布、梯度分布和应力分布 |
典型应用：半导体器件工艺研究与质量控制；薄膜应力分布测量
DS6322型激光编码测试仪
编码快速识别 · 8位编码 · φ80/φ200mm · 能量3J
该产品采用了光束变换、大口径光信号匀化提取、对称积分、噪声补偿和高频低噪声信号放大等技术，研制了激光编码快速识别与自动解码软件，突破了编码种类多、边界条件多、运算量大、本底自动跟踪等关键技术，实现了激光编码快速、准确测量。适用于光电装备研制、生产、验收和保障过程中编码激光输出特性测试，如激光编码类型、位数、循环周期和编码等。同时能够测量脉冲激光的能量和平均功率，并具有数据回放和统计功能。
- 固定频率编码、变间隔码、PCM码、等差型编码测试
- 编码脉冲时间间隔测试
- 激光脉冲能量与平均功率测试
- 测试数据显示、存储与回放
| 最大接收口径 | φ80mm / φ200mm |
|---|---|
| 最大识别位数 | 8位 |
| 最大时间间隔 | 1s |
| 最小时间分辨率 | 10μs |
| 脉冲时间间隔精度 | 1% ± 1个字 |
| 最大激光能量 | 3J |
| 激光能量测试精度 | ±10% |
| 电源 | AC 220V；DC 12V，功耗≤35W |
| 结构 | 台式 |
| 重量 | 探测器≤5kg，控制主机≤3kg |
典型应用：编码激光输出特性测试；光电装备研制、生产、验收和保障
漫反射屏系列
190nm～14μm · 均匀漫反射 · 抗损伤 · 尺寸定制
漫反射屏是利用光的漫反射原理、采用特殊材料制作的激光接收屏，广泛应用于大口径光束成像、衰减和激光防护等领域。产品具有光漫反射效果均匀、抗损伤阈值能力强、漫反射率高、散热效果好等特点。可根据客户需要设计、加工、制作个性化产品。
- 基底材料多样，涂层材料丰富，喷涂工艺专业
- 光谱范围覆盖紫外、可见和红外区域
- 漫反射效率高、均匀性好、光吸收率高、散热好
- 良好耐久性、耐辐射
- 结构多样，个性化定制
| 光谱范围 | 190nm ～ 14μm |
|---|---|
| 外形尺寸 | 根据客户需要订制 |
| 特点 | 漫反射均匀、抗损伤阈值强、散热效果好 |
典型应用：大口径光束成像与衰减；激光防护；科研、生产和激光装备研制、试验、验收和保障
积分球系列
250nm～14μm · Φ50～Φ1000mm 七档直径 · 抗损伤阈值高 · 可个性化订制
积分球是光学和激光测试设备中很重要的辅助设备，特别是在激光参数的测试中，常用于均匀面光源产生、大发散角激光测量、高能激光测量等领域。与常规积分球产品相比，其抗损伤阈值能力超强。用户既可以单独购买标准积分球，也可以根据特殊需求进行个性化订制。
- 系列产品，结构多样，个性化定制
- 光谱范围宽，可覆盖紫外、可见和红外区域
- 漫反射效率高，均匀性好，散热效果好
- 良好的物理化学性能，抗激光破坏阈值高、长期稳定性好
| 光谱范围 | 250nm ～ 14μm |
|---|---|
| 积分球直径 | Φ50mm / Φ90mm / Φ150mm / Φ200mm / Φ450mm / Φ800mm / Φ1000mm 等 |
| 订制能力 | 可定制各种个性化产品 |
典型应用：均匀面光源产生；大发散角激光测量；高能激光测量；激光参数测试中的辅助设备
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